Schuren en polijsten is de laatste fase in het monstervoorbereidingsproces en bestaat uit meerdere stappen. Elke stap maakt gebruik van fijnere schuurmiddelen dan de vorige, het uiteindelijke doel is om een vervormings-, krasvrij en zeer reflecterend oppervlak te produceren. Het monster kan wellicht onderzocht worden, ofwel geëtst of ongeëtst, om de microstructuur van het materiaal te onthullen. Het gebeurt vaak dat contrasten in het materiaal pas na een succesvolle ets stap zichtbaar zijn.
